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製品案内タイトル

一段圧力調整器　SRQ-1シリーズ 高温対応タイプ

一般工業用圧力調整器イメージ画像
シリーズ名
SRQ-1シリーズ 高温対応タイプ
製品名
SRQ-1H L，SRQ-1HLP
特徴

環境温度150℃下で使用可能な圧力調整器です。　　　
調圧ネジタイプとパイロットタイプをラインナップしました。
出入口VCR。2ポート。　恒温室用に最適です。

基本詳細タイトル

型式 SRQ-1H L SRQ-1HLP
一次側圧力 1〜 20MPa
二次側使用圧力 0.1〜 0.99MPa
パイロット圧力 - 0.1〜 0.99MP a
使用温度（℃ ） -20〜 150
材質 SUS316L
重量（Kg) 1.1
標準流量 L/min
(標準状態 N2値)		 160 (P1=15M Pa,P 2=0.99MPa)
最大流量 L/min
(標準状態 N2値)		 200 (P1=15M Pa,P 2=0.99MPa)

●共通仕様（SRシリーズ）
1. 材質…金属部は、オールSUS製と接ガス部SUS製の2種類
2. 使用温度…−10〜75℃
3. 経済産業大臣の認定品で製造できます。
4. グレード構成は、下記のようになっています。
グレード G1 G2 G3
対象ガス 超高純度ガス 高純度ガス 標準ガス
接　続 溶接継手　VCR,UJR,etc ネジ接続 ネジ接続
組立室 クリーンルームクラス10 クリーンルームクラス10 クリーンルームクラス10000
洗　浄 1MΩ・cm以上　温純水洗浄
Heリーク値 1.01×10-11Pam3/sec 1.01×10-9Pam3/sec 24h　N2封入
パーティクル 0.3μm以上　ノーカウント 0.5μm以上　20ヶ/Ft3 ----
包　装 真空二重パック 真空二重パック ビニール袋
但し・表面粗度　接ガス面、ＥＰ仕様、Ra 0.5μ以下（G1グレードでの対応となります。）
接ガス面　標準仕様　　Ra 3.2μ以下 ・洗浄については18MΩ・cmの温純水洗浄の製作も可能（オプション）

品の詳細については、カタログPDFをご覧ください。

関連PDFデータタイトル

超高純度ガス用圧力調整器 SRQ-1シリーズ

超高純度ガス用絶対圧力調整器 SRQ-1LAシリーズ

超高純度ガス用圧力調整器 SRQ-3シリーズ

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