分析機用圧力調整器 MSR-1シリーズ

カテゴリー | 分析機用圧力調整器 |
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シリーズ名 | MSR-1シリーズ |
製品名 | MSR-1S |
特徴 | ・二段減圧構造のため、二次側圧力の変動が極めて少なく、安定供給が可能です。 ・ガス純度99.99%(真鍮)〜99.999%(ステンレス) までのガス供給に最適です。 ・経済産業大臣認定品として製作可能です。 |
仕様
型式 | MSR-1S |
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一次側圧力(MPa) | 2〜20 |
二次側圧力(MPa) | 0.05〜0.99 |
材質 | SUS316 |
質量 | 1.9kg |
標準流量(L/min) | 56 (P1=15MPa , P2=0.6MPa N2値) |
最大流量(L/min) | 70 (P1=15MPa , P2=0.6MPa N2値) |
注意点
・腐食性ガス 1000ppm以下を混合した標準ガスに使用できます。
(HCL,F2等、強腐食性ガスは除く)