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分析機用圧力調整器
SRQ-1LL

分析機用圧力調整器 SRQ-1LLシリーズ


カテゴリー 分析機用圧力調整器 
シリーズ名 SRQ-1LLシリーズ
製品名 SRQ-1LL 
特徴 ・高純度ガス(純度 99.999%〜99.99999%) や腐食性ガスの供給に最適です。
・スライド部をなくし、パーティクルの発生を抑えた構造。
・波形ダイアフラム採用で圧力高感度を達成。
・外部シールは、オールメタルシールを採用。
・経済産業大臣認定品として製作可能です。

基本情報

仕様

型式 SRQ-1LL
使用ガス 使用ガス一覧をご覧下さい。
一次側圧力(MPa) 1〜3
二次側圧力(MPa) 0.1〜0.99
材質 SUS316L
質量 1.3kg
標準流量(m3/h) 160 (P1=3MPa , P2=0.99MPa)
最大流量(m3/h) 200 (P1=3MPa , P2=0.99MPa)

注意点

・G1グレード認定継手(N-?)使用品の納期は、都度回答となります。又、面間寸法が通常品と異なる場合があります。
・本製品に逃し弁は付いておりません。
 別途、出口配管上に安全弁を取付けるようにお願いします。
・腐食性ガスをご使用される場合は、機器寿命を長持ちさせる為、パージアッセンブリーやパージシステムの設置をお奨めします。